規格(長×寬)mm |
檢驗平臺精度等級 |
||||
1級 |
2級 |
3級 |
|||
平面度公差(um) |
|||||
200×200 |
10 |
20 |
50 |
||
300×200 |
12 |
24 |
60 |
||
300×300 |
12 |
24 |
60 |
||
300×400 |
12 |
24 |
60 |
||
400×400 |
12 |
24 |
60 |
||
400×600 |
14 |
28 |
70 |
||
500×500 |
14 |
28 |
70 |
||
500×600 |
14 |
28 |
70 |
||
500×800 |
16 |
32 |
80 |
||
600×800 |
16 |
32 |
80 |
||
600×900 |
16 |
32 |
80 |
||
1000×750 |
18 |
36 |
90 |
||
1000×1000 |
20 |
39 |
96 |
||
1000×1200 |
20 |
40 |
100 |
||
1000×1500 |
24 |
48 |
120 |
||
1000×2000 |
26 |
52 |
130 |
||
1500×2000 |
28 |
56 |
140 |
||
1500×2500 |
32 |
64 |
152 |
||
1500×3000 |
|
70 |
174 |
||
2000×3000 |
|
74 |
184 |
||
2000×4000 |
|
88 |
219 |
||
2500×3000 |
|
79 |
186 |
||
2000×4500 |
|
|
237 |
||
2000×5000 |
|
|
255 |
||
2000×6000 |
|
|
292 |
||
3000×6000 |
|
|
308 |